洁净厂房一般包括洁净区、准洁净区和辅助区三部分。阳台可以有窗户也可以没有窗户，可以用来参观和放置一些设备，有些设备在阳台上设有值班暖气。外窗要双重密封。洁净车间位于外围，走廊位于内部。
这种走廊的清洁度一般较高，甚至与洁净厂房处于同一水平。洁净区一侧设置，另一侧设有洁净室和辅助用房。为节约用地，缩短管道长度，可以洁净区为核心，周围有各种辅助用房和暗管。避免了室外气候对洁净区的影响，降低了冷热能耗，有利于节能。
需要使用防水石膏板。木材含水率不大，否则容易干裂、变形、松脱等。装饰材料有一定的抗氧化性，表面有一定的耐化学性。在淋浴区，选择具有防滑功能的瓷砖。净化厂的墙体、屋面板一般采用厚夹心彩钢板，外观美观，刚性强。
弧形角、门、窗框等一般采用特种氧化铝型材。地面可采用环氧自流地板或耐磨塑料地板。如有防静电要求，可选用防静电型。送回风管采用热镀锌板，粘贴阻燃酚醛泡沫塑料板，净化保温效果好。送风口采用不锈钢框架，美观干净。
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